電容膜片真空計的來源及性能介紹

    真空計是高精度總壓強測量和控制的*選擇。為達到優異的半導體和等離子過程要求的性能，將CDG100D真空計的溫度控制于100度。全量程范圍從100毫乇至1000乇，配有全部常用的法蘭型式和Fieldbus接口，和提供線性的0至10伏與氣體類型無關的壓強訊號。INFICON電容真空計采用超純抗腐蝕的氧化鋁陶瓷膜片。陶瓷傳感器的優點是訊號穩定性好，從大氣壓恢復快，預熱時間短和超長的使用壽命。INFICON CDG是高質量，成本效益好的壓強傳感器，用于半導體，等離子和各項要求高的真空應用中。