關(guān)于四極質(zhì)譜（RGA）的問(wèn)題

關(guān)于四極質(zhì)譜（RGA）的Q&A

一、真空腔體里還有殘留氣體，也就是說(shuō)想分析一下這些氣體的成分或者比例，怎么辦？

    選用四極質(zhì)譜儀（RGA）。

二、什么是四極質(zhì)譜、它有什么功能及應(yīng)用？

     科銳詩(shī)汀代理的四極質(zhì)譜（RGA)是一種用于確定系統(tǒng)中存在的殘余氣體及數(shù)量的儀器。用于檢漏、工藝標(biāo)定和診斷。應(yīng)用于真空鍍膜、熱處理、半導(dǎo)體、太陽(yáng)能等行業(yè)。

三、真空設(shè)備都要配四極質(zhì)譜（RGA）嗎？

    如果鍍膜工藝要求高，建議配上RGA，比如很多的鍍膜機(jī)（光馳、新科?。?biāo)配就有RGA。

四、四極質(zhì)譜儀（RGA）可以檢漏嗎？

可以。

五、配了四極質(zhì)譜儀（RGA）還需要配檢漏儀嗎？

很多公司兩款都有配，因?yàn)闄z漏儀的功能只是檢漏，而且一般都是全套帶泵組的，使用時(shí)非常簡(jiǎn)單。而四極質(zhì)譜（RGA）要在一定的真空度上使用，且不止是檢氦氣，它的功能主要是分析真空腔體內(nèi)的氣體成份，檢漏只是它功能的一種。

六、INFICON產(chǎn)品型號(hào)有哪些，各有什么特點(diǎn)，如何選擇？

       Transpector CPM緊湊型過(guò)程監(jiān)控器（帶分子泵組和采樣閥組、可自動(dòng)控制、大真空度1.2大氣壓）

       Transpector  SPS 殘余氣體分析儀（帶分子泵組和采樣閥組、可自動(dòng)控制、大真空度1.2大氣壓）

       CPM與SPS比較 SPS是CPM的簡(jiǎn)化版本，功能更簡(jiǎn)化。
       Transpector  XPR3+ 殘余氣體分析儀（質(zhì)量數(shù)在0-100Amu,大工作氣壓1.3X10^-2mba）

       Transpector  MPH 殘余氣體分析儀（質(zhì)量數(shù)0-100Amu、0-200Amu、0-300Amu;大工作氣壓5X10^-4mba）

       Transpector  MPS 殘余氣體分析儀（質(zhì)量數(shù)0-100Amu、0-200Amu、0-300Amu;大工作氣壓5X10^-4mba）

       MPH與MPS比較，測(cè)量間隔小、零爆小、靈敏度高。

       QMG 700 分析質(zhì)譜儀

A、小于5X10^-4mba  可選擇MPH/MPS。

B、大氣壓          可選擇SPS/CPM。

C、小于1.3X10^-2mba 可選擇XPR3。

關(guān)于質(zhì)量數(shù)的選擇：
1、100Amu

   典型應(yīng)用于非反應(yīng)性工藝過(guò)程，如PVD鍍膜、熱處理、激光、普通氣體分析。檢測(cè)H2、He、H2O、N2、Co、O2、Ar、CO2等小分子氣體。

2、200/300 Amu

   典型應(yīng)用于反應(yīng)性工藝過(guò)程，如ETCH/CVD等，監(jiān)測(cè)殘余氣體及工藝氣體如CCL4，碳?xì)浠衔铩?/span>SiCL4、SF6、C3F8、WF6和Xe等高分子材料

七、關(guān)于參數(shù)指標(biāo)上的解讀？

1、檢測(cè)器類型有FC和EM各是什么？
   FC是法拉第杯 EM是增強(qiáng)模塊。

2、小可檢分壓強(qiáng)是什么意思？

   是真空腔里存在氣體小壓強(qiáng)，就像一桿秤，如果小于小壓強(qiáng)，就不能秤出數(shù)據(jù)來(lái)。

3、儀器報(bào)警是怎么回事？

   一般是燈絲燒壞了。燈絲是耗材，一般客戶會(huì)備用一些。

4、RGA使用方便簡(jiǎn)單嗎？容易學(xué)嗎？

   科銳詩(shī)汀提供詳細(xì)的使用說(shuō)明書(shū)，簡(jiǎn)單易上手。