擁有一顆藍寶石的“玻璃心” ——安捷倫精密微調閥

擁有一顆藍寶石的“玻璃心"

——安捷倫精密微調閥

安捷倫精密微調閥，用于精密控制微小的流量（或泄漏率），以調節系統真空度或滿足其它非常特殊的工藝需求。

安捷倫藍寶石密封精密微調閥最小可控制 1E-10 mbarl/s (std cc/s, sccs) 的微小流量，可用于壓力低至 1E-11 mbar 的超高真空環境，并且可以耐受高達 450℃ 的高溫烘烤。                         

該微調閥內部有一塊具有光學級平面的藍寶石（Sapphire），和一套精密的位置調整機構。位置調整機構由一個精密細牙螺桿和一個高倍率杠桿機構組成，該機構的省力倍數高達13000:1，可以非常精密的調整藍寶石的平面和與其相配合的金屬墊片之間的距離，從而調整通過他們之間的流量，或者形成*無摩擦、無咬合和無斷裂的密封。

閥門內部的藍寶石和與其相配合的金屬墊片之間緊密貼合之后，閥門就處于關閉狀態。已經處于關閉狀態的閥門不可以再繼續擰緊，否則會造成螺紋或者藍寶石閥頭損壞。為了避免此類現象發生，閥門在出廠時已經設置好了停止位置，即兩個圓螺母（NOBS）已經鎖緊在調整螺桿（FINE DRIVE SCREW）的某一點上，使得閥門在關閉后無法再繼續擰緊。使用時請捏住兩個螺母一起轉動（順時針流量減小，逆時針流量增大），不要隨意將它們松開或調整位置。

若閥門使用一段時間后出現擰到最緊后仍然無法密封，或者想把停止位置設定為某一個固定的流量（漏率），可以參考使用說明書，并按照說明書中描述的步驟進行調整。

微調閥的調整螺紋為精密細牙螺紋，大力旋轉或者螺紋處潤滑不良時會造成螺紋損壞，請小心調整并定期涂抹附送的潤滑脂。該潤滑脂為可以耐受烘烤的高溫潤滑脂，請勿用其它潤滑脂替代。

當需要對關閉狀態的閥門進行烘烤時，有可能需要重新設置停止位置（請參見說明書“烘烤程序"一節）。

當微調閥的流量低于 1E-9 mbarl/s 時，可凝蒸氣和污染物有可能會堵塞閥內的微小間隙。對此類應用，微調閥必須在開啟狀態下真空烘烤至 250° 并保持30分鐘，以去除內部吸收的可凝蒸氣。

對于 4E-10 mbarl/s 以及更低的流量，除上述烘烤外，通過微調閥的氣體必須不含可凝性蒸氣，或者通過干燥裝置（比如液氮冷阱）對進氣進行處理后再接入微調閥。分子篩捕集阱也可用于干燥氣體，但必須使用過濾器以確保沒有篩子顆粒進入微調閥。

環境溫度的變化會引起流量（泄漏率）的變化（溫度升高時，泄漏率增加），如果泄漏率的變化對您正在進行的實驗來說是不可接受的，就應該使用一些溫度控制的手段——將閥門加熱并將其溫度維持在略高于最高室溫的某個值。

編者：深圳市科銳詩汀科技有限公司真空技術中心