真空濺射的應用范圍

工業部門	應用實例	備注
電子工業	半導體材料、電介質材料、導電材料、超導材料、太陽能電池、集成線路及電路元件等	低基片溫度
機械工業	耐蝕、耐熱、耐摩擦性能保護性材料等	厚膜
光學工業	反射膜、選擇性透光膜、光集積回路、反射鏡保護膜	低基片溫度
裝飾	塑料涂層、陶瓷涂層、彩虹包裝等	厚膜
航天及交通	導電玻璃	擋風玻璃

電子工業：半導體材料、電介質材料、導電材料、超導材料、太陽能電池、集成線路及電路元件等。低基片溫度
機械工業：耐蝕、耐熱、耐摩擦性能保護性材料等。厚膜
光學工業：反射膜、選擇性透光膜、光集積回路、反射鏡保護膜。低基片溫度
裝飾：塑料涂層、陶瓷涂層、彩虹包裝等。厚膜
航天及交通：導電玻璃。擋風玻璃