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產品中心
詳細介紹
| 品牌 | Inficon/英福康 | 產地 | 進口 |
|---|---|---|---|
| 加工定制 | 否 |
XL12-INFICON Crystal 12探頭（傳感器）
自動晶體切換大限度地延長生產時間
INFICON Crystal 12 傳感器與INFICON IC6 薄膜沉積控制器結合使用時，可自動更換其晶體，而無需中斷過程。晶體不穩定或失效時，IC6 會立即向 Crystal 12 傳感器旋轉傳送帶發送信號，要求其立即將新晶體旋轉到位，從而實現持續沉積速率監控。為進一步最小化停工時間，可以將晶體預先加載到另一個可選旋轉傳送帶上，這樣，可以直接輕松快速地更換裝有失效晶體的旋轉傳送帶，從而大限度縮短系統打開的時間。
功能
裝有 12 顆晶體，可進行可靠的自動轉換，從而大限度延長過程運行時間
易于拆卸的旋轉傳送帶允許快速更換所有 12 顆晶體
晶體轉換由空氣驅動完成（競爭產品是使用生熱電機），因而晶體溫度非常穩定
易于拆卸的前沉積罩保護晶體和旋轉傳送帶上不會積存材料，從而大限度減少拆卸整個傳感器以進行維護的必要性
可選安裝后套件允許用戶根據公制硬件大小自行修改
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