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簡(jiǎn)要描述：BOC Edwards EXT泵適用于除zui苛刻的半導(dǎo)體應(yīng)用和科學(xué)應(yīng)用(這些領(lǐng)域可使用STP系列泵)以外的任何領(lǐng)域。EXT系列一般使用球形氮化硅陶瓷軸承和磁懸浮軸承的組合形式。陶瓷軸承與傳統(tǒng)軸承相比具有更輕、更硬和更平穩(wěn)的優(yōu)點(diǎn)，以及壽命長(zhǎng)、小振動(dòng)的優(yōu)點(diǎn)。由于軸承滾珠和軸承座使用了不同材料，防止了微小凹陷而提高可靠性。
產(chǎn)品型號(hào)：EXT75DX廠商性質(zhì)：代理商更新時(shí)間：2026-01-28訪 問(wèn) 量：3894產(chǎn)品資料：詳細(xì)介紹
| 品牌 | Edwards/愛(ài)德華 | 產(chǎn)地 | 進(jìn)口 |
|---|---|---|---|
| 加工定制 | 否 |
性能特點(diǎn)
兼容TIC渦輪儀表控制器。
多種通訊模式。
并口，用于傳統(tǒng)控制信號(hào)接口。
串口，用于RS-232接口。
通過(guò)RS-232接口，用戶可以設(shè)置各種參數(shù)RS-232。
正常泵速顯示。
準(zhǔn)備轉(zhuǎn)速顯示。
泵溫。
增強(qiáng)型泵速、功耗、溫度監(jiān)測(cè)。
技術(shù)數(shù)據(jù)
入口法蘭 DN63ISO-K
壓縮比
N2 >1 x 10E11
He 1 x 10E6
出口法蘭 DN16NW
級(jí)間口（Hi型） DN25NW
放氣口 1/8 inch BSP
吹掃凈化口 1/8 inch BSP
zui高入口壓力（抽輕氣體） *
水冷（水溫15°C，大氣溫度40°C） 2 x 10E-2 mbar
空冷（大氣溫度35°C） 1 x 10E-2 mbar
額定轉(zhuǎn)速 90000 rpm
工作轉(zhuǎn)速 49500～90000 rpm （缺省 63000 rpm）
轉(zhuǎn)速達(dá)到90%所需時(shí)間 ** 110 s
冷卻方式 空冷/水冷
大氣溫度（空冷） 5-35 °C
冷卻水zui低流速（水溫15 °C） 15 l/h
水溫范圍 10-20 °C
入口法蘭zui高溫度 100 °C
工作姿態(tài) 垂直
噪音（1m處） <50 dB（A）
控制器（推薦） TIC100 渦輪控制器或TIC100渦輪儀表控制器
重量 3.0 kg
前級(jí)泵也可以使用抽速更大的旋片泵，還可使用極限真空小于5mbar的隔膜泵。
* 超出該入口壓力時(shí)，轉(zhuǎn)速為額定轉(zhuǎn)速。
** 此時(shí)功率80W。
*** 沒(méi)安裝入口篩網(wǎng)。安裝篩網(wǎng)時(shí)，泵速下降約10%。
前級(jí)泵為兩級(jí)旋片泵，并烘烤48小時(shí)。
Pb<5 mbar（500 Pa）并烘烤48小時(shí)。
訂貨信息
描述 | 貨號(hào) |
EXT75DX ISO63 | B722-41-000 |
EXT75DX CF63 | B722-42-000 |
EXT75DX NW40 | B722-43-000 |
EXT75DX ISO100 | B722-45-000 |
EXT75iDX ISO63 級(jí)間法蘭DN25NW | B722-38-000 |
TIC 渦輪控制器 100W RS232 | D397-11-000 |
TIC 渦輪儀表控制器 100W RS232 | D397-21-000 |
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