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    Granville-Phillips Micro-lon®ATM模塊

    簡(jiǎn)要描述:GP 390型真空計(jì)運(yùn)用薄膜傳感器技術(shù),該產(chǎn)品可以提供近大氣端的精確的絕壓測(cè)量并能提供大氣端真空腔室內(nèi)精準(zhǔn)的相對(duì)壓力指示。

    • 產(chǎn)品型號(hào):GP390真空計(jì)
    • 廠商性質(zhì):代理商
    • 更新時(shí)間:2025-11-19
    • 訪  問(wèn)  量:6286
    • 產(chǎn)品資料:

    詳細(xì)介紹

    品牌其他品牌產(chǎn)地進(jìn)口
    加工定制

    Granville-Phillips系列390 Micro-lon ATM模塊(GP 390型真空計(jì))

    真空測(cè)量解決方案

    Granville-PhillipsMicro-lon ATM模塊復(fù)合了經(jīng)標(biāo)定的Micro-lon電離規(guī)技術(shù)和微型Conductron熱損失傳感技術(shù)和兩個(gè)壓阻薄膜傳感器于一體,從而提供了從高真空到大氣壓的精確、連續(xù)的壓力測(cè)量。

    GP 390型真空計(jì)運(yùn)用薄膜傳感器技術(shù),該產(chǎn)品可以提供近大氣端的精確的絕壓測(cè)量并能提供大氣端真空腔室內(nèi)精準(zhǔn)的相對(duì)壓力指示。GP 390型真空計(jì)*的傳感器設(shè)計(jì)消除了在高壓力下影響熱損失傳感器特性的熱效應(yīng)。                         GP 390型真空計(jì)這種小型的模塊復(fù)合了全部四種傳感器及控制電子器件于一個(gè)緊湊的一體化設(shè)計(jì)中,減少了腔室真空規(guī)管的需求數(shù)量并zui小化所占空間。全量程壓力測(cè)量可以通過(guò)單一模擬量信號(hào)或可選的串行RS-485DeviceNet數(shù)字協(xié)議輸出。GP 390型真空計(jì)RS-485DeviceNet版本產(chǎn)品可以zui多選擇三個(gè)設(shè)定點(diǎn)繼電器用于工藝控制,可以在真空壓力測(cè)量范圍內(nèi)設(shè)定任意壓力值或者相對(duì)壓力值。                                  

    GP 390型真空計(jì)復(fù)合規(guī)管技術(shù)

    以往,在寬量程范圍內(nèi)要進(jìn)行精確測(cè)量需要對(duì)個(gè)傳感器,多個(gè)真空系統(tǒng)接口,以及相關(guān)電纜及電子器件。Granville-PhillipsMicro-lon ATM模塊GP 390型真空計(jì))合并多傳感器于一個(gè)微機(jī)控制設(shè)計(jì)中,減少了整體購(gòu)置成本,同時(shí)提高真空測(cè)量性能。

    Granville-Phillips20多年成功的規(guī)管設(shè)計(jì)以及現(xiàn)場(chǎng)裝機(jī)經(jīng)驗(yàn)運(yùn)用到了生產(chǎn)新的真空測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品Micro-lon ATM模塊GP 390型真空計(jì))中。量程寬、高性能、及緊湊型設(shè)計(jì)的Micro-lon ATMGP 390型真空計(jì))是您進(jìn)行高真空系統(tǒng)壓力測(cè)量的明智之選。      

    Granville-Phillips Micro-lon®ATM模塊


    GP 390型真空計(jì)內(nèi)部截面

    GP 390型真空計(jì)特點(diǎn)與優(yōu)勢(shì):

    寬量程范圍:提供從10-9Torr到大氣壓的真空壓力的連續(xù)測(cè)量。

    高性能:經(jīng)過(guò)驗(yàn)證的Micro-lon雙燈絲電離規(guī)技術(shù),獲的熱損失傳感器,以及精準(zhǔn)的薄膜技術(shù)消除了熱損失傳感器的熱影響,增強(qiáng)了高壓力的測(cè)量性能。

    自動(dòng)控制:完整集成的傳感器自動(dòng)控制激活和斷開電離規(guī),因此簡(jiǎn)化了規(guī)管操作。設(shè)定點(diǎn)的產(chǎn)品中,觸點(diǎn)繼電器可用來(lái)控制其他真空器件或?qū)崿F(xiàn)安全互鎖。設(shè)定點(diǎn)會(huì)存于非易失性存儲(chǔ)器中。

    緊湊設(shè)計(jì):一個(gè)Micro-lon規(guī)管,一個(gè)熱損失傳感器連同一個(gè)大氣薄膜規(guī)、一個(gè)絕壓薄膜規(guī),和控制器件全部集成在一個(gè)緊湊的模塊包中。

    RS-485接口:允許模塊和主機(jī)之間進(jìn)行通訊,并可使用可選的RS-485模塊配置進(jìn)行通訊。

    DeviceNet接口:可提供高速壓力測(cè)量讀數(shù)及簡(jiǎn)單的規(guī)管配置參數(shù)的獲取。

    可選的過(guò)程控制繼電器:zui多可用三個(gè)設(shè)定          

    Granville-Phillips Micro-lon®ATM模塊

    GP 390型真空計(jì)傳感器開關(guān)點(diǎn)

    點(diǎn)控制繼電器從而簡(jiǎn)化工藝控制功能。設(shè)定點(diǎn)可以通過(guò)RS-485接口來(lái)配置。

    現(xiàn)場(chǎng)可更換的規(guī)管組件:規(guī)管組件可以在模塊從真空系統(tǒng)上取下后僅僅使用螺絲刀就能實(shí)現(xiàn)快速簡(jiǎn)單的更換。

     GP 390型真空計(jì)技術(shù)規(guī)格

    測(cè)量范圍(對(duì)于空氣或N2)(注釋12、3

    Torr

    1x10-9到大氣壓

    Mbar

    1.33x10-9到大氣壓

    Pa

    1.33x10-7到大氣壓

    X射線極限(注釋4

    Torr

    <3x10-10

    Mbar

    <4x10-10

    Pa

    <4x10-8

    基于環(huán)境壓力的相對(duì)壓力測(cè)量范圍

    Torr

    -750+250

    Mbar

    -999333

    KPa

    -99.933.3

    精度(對(duì)于空氣或N2的絕壓)(注釋5

    Torr

    1x10-6100mTorr+/-15%讀數(shù);100mTorr150+/-10%讀數(shù);1501000+/-2.5%讀數(shù)

    Mbar

    1.33x10-60.133+/-15%讀數(shù);0.133200+/-10%讀數(shù);2001333+/-2.5%讀數(shù)

    Pa

    1.33x10-613.3+/-15%讀數(shù);13.32x104+/-10%讀數(shù);2x1041.33x105+/-2.5%讀數(shù)

    重復(fù)性(對(duì)于空氣或N2的絕壓)(注釋6

    Torr

    1x10-6100mTorr+/-5%讀數(shù);100mTorr150+/-2.5%讀數(shù);1501000+/-1.0%讀數(shù)

    Mbar

    1.33x10-60.133+/-5%讀數(shù);0.133200+/-2.5%讀數(shù);2001333+/-1.0%讀數(shù)

    Pa

    1.33x10-613.3+/-5%讀數(shù);13.32x104+/-2.5%讀數(shù);2x1041.33x105+/-1.0%讀數(shù)

    精度(相對(duì)壓力)

    +/-2.5Torr+2.5%讀數(shù));+/-3.3mbar+2.5%讀數(shù));+/-0.33KPa+2.5%讀數(shù))

    響應(yīng)時(shí)間

    <25毫秒

    模擬量輸出

    壓力

    對(duì)數(shù),0.57.0VDC0.5V/數(shù)量級(jí)

    相對(duì)壓力

    線性,1-5VDC,-750+250Torr-1000+333mbar;-100+33KPa

    RS-485串口

    數(shù)字通訊口

    2線,半雙工

    通訊格式

    ASCII,無(wú)奇偶校驗(yàn)位,1位停止位

    波特率

    1200,2400,4800,9600,19200(默認(rèn)),38400

    地址

    0-63,通過(guò)地址選擇開關(guān)選擇或通過(guò)RS-485命令

    DeviceNet網(wǎng)絡(luò)接口

    通訊類型

    輪詢I/O和顯示傳送

    通訊格式

    BOOLBYTE,STRUCTSSTRING,REAL,INTUINT,USINT,EPATHWORD數(shù)據(jù)

    波特率

    125,250500千波,開關(guān)選擇

    地址

    0-63,通過(guò)地址選擇開關(guān)選擇

    工作溫度

    10-400C50-1040F)不結(jié)露

    存放溫度

    -40-+700C-40-+1580F)不結(jié)露

    烘烤溫度

    zui高1050C2210F),移除電子器件

    電離規(guī)發(fā)射電流

    自動(dòng)量程切換

    電離規(guī)自動(dòng)控制設(shè)定(默認(rèn))

    電離規(guī)啟動(dòng)

    2x10-2Torr;2.66x10-2mbar,2.66Pa,隨壓力上升關(guān)閉

    電離規(guī)停止

    3x10-2Torr;3.99x10-2mbar3.99Pa,隨壓力上升關(guān)閉

    切換至高發(fā)射

    5x10-6Torr;6.66x10-6mbar6.66x10-4Pa,隨壓力上升關(guān)閉

    切換至低發(fā)射

    1x10-5Torr;1.33x10-5mbar,1.33x10-3Pa,隨壓力上升關(guān)閉

    電離規(guī)除氣

    電子轟擊;每個(gè)燈絲3W一分鐘

    電離規(guī)燈絲

    鎢絲或鍍氧化釔的銥絲

    燈絲操作(注釋7

    交替(氧化釔燈絲的默認(rèn)模式),自動(dòng),手動(dòng)(鎢絲的默認(rèn)模式)

    熱損失傳感絲

    鍍金鎢

    規(guī)管容積

    10.8cm30.65in3

    LED指示

    模塊狀態(tài)

    I/O連接

    RS-485/模擬量:15D型插針接頭,DeviceNet5針微型接頭

    zui大沖擊電流

    RS-485/模擬量:2A 48W 0.5秒,DeviceNet0.25A

    供電要求

    RS-485/模擬量:24VDC+10%-15%,1A 22W額定;DeviceNet24VDC(1126.4VDC)額定0.2A

    CE認(rèn)證

    EMC電磁兼容指令

    89/3361/EEC;EN50081-2,EN50082-2,EN1326-1

    低壓指令

    73/23/EEC;EN61010-1

    顯示選項(xiàng)

    圖形液晶

    繼電器設(shè)定點(diǎn)選項(xiàng)

    RS-485DeviceNet2SPDT(NO/NC)3SPST(NO),每個(gè)設(shè)定點(diǎn)都可以獨(dú)立分配給絕壓或相對(duì)壓力測(cè)量

    繼電器觸點(diǎn)額定值

    zui大

    1A  30VDC阻抗

    zui小

    5mA  5VDC阻抗

    重量

    728.5g25.7oz)(2.75CF法蘭)

    外殼材料

    壓鋁粉末噴涂

    暴露于真空下的材質(zhì)

    304不銹鋼,鉭,鎢,銥絲鍍氧化釔,氧化鋁,銀銅焊料,可伐,可伐鍍金或鍍鎳,硅酸硼玻璃

    GP 390型真空計(jì)注釋:

    1. 測(cè)量結(jié)果會(huì)隨不同氣體和混合情況而改變。

    2. Micro-lon ATM模塊不能用于易燃易爆氣體測(cè)量。

    3. 大氣壓的數(shù)值是基于標(biāo)定時(shí)環(huán)境壓力。

    4. X射線極限是規(guī)管的zui小絕壓讀值。在X射線極限附近不可能進(jìn)行重復(fù)測(cè)量。

    5. 精度(規(guī)管讀數(shù)和校驗(yàn)參考標(biāo)準(zhǔn)之間的差異)是通過(guò)數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)確定的并且包括了規(guī)管和電子器件的綜合性能。

    6. 重復(fù)性是指同一模塊在不同時(shí)間讀取相同壓力值的能力。

    7. 在交替模式下模塊將交替激活電離規(guī)燈絲。在自動(dòng)模式下燈絲1會(huì)先工作直至它不能工作為止,然后模塊自動(dòng)切換到燈絲2工作。在手動(dòng)模式下模塊會(huì)按照自動(dòng)模式的操作方式讓燈絲工作,除非手動(dòng)干預(yù)要求激活燈絲2

    Granville-Phillips Micro-lon®ATM模塊                                                                  

    GP 390型真空計(jì)尺寸






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